德國 Unitemp VPO-300 真空製程爐，可處理單片 300 mm（12 吋）晶圓或 300 × 300 mm 基板。上下各 18 kW 交叉排列紅外線燈管、3 區可程式加熱，最高 1000°C（可選配 1200°C），升溫 40 K/s；VPO-300 真空 1×10⁻³ hPa，VPO-300-HV 達 10⁻⁶ hPa，並可選配正壓 0.2 MPa，最多 4 路 MFC。
12 吋晶圓用的真空快速熱處理爐
德國 Unitemp VPO-300 是可處理單片 300 mm（12 吋）晶圓、300 × 300 mm 基板或四片 156 mm 太陽能電池的真空製程爐，適合重視能源效率、產能、熱預算（thermal budget）與成本的 300 mm 產線，也適合研發與試產。
上下各有一組交叉排列的紅外線燈管（各 18 kW），共 3 個可程式加熱區，能在幾秒內把矽晶圓加熱到 1000°C（可選配 1200°C），升溫速率 40 K/s。燈管配置讓溫度分布均勻、製程參數可重現：在 200 mm 晶圓上，溫度均勻性為設定溫度的 1% 以內（例如 300°C 時 ±3 K）。
VPO-300 真空度 1×10⁻³ hPa，VPO-300-HV 可達 10⁻⁶ hPa；並可選配正壓，最高 0.2 MPa（2000 hPa）。標準一路氮氣 MFC，最多可擴充到 4 路，可使用惰性氣體、氧氣、氫氣與合成氣；使用純氫時可選配安全罩（Hood L）。
SIMATIC® 控制器搭配 7 吋觸控面板，可存 50 組程式、每組 50 段，內建資料記錄並可遠端控制。腔體開闔以按鈕操作，可整合進產線；也可選配整合冷卻水交換器的落地機櫃。
機台外觀
VPO-300
外形 540 × 690 × 890 mm｜重量 140 kg
上蓋開啟
鋁腔 350 × 350 mm，含石英底板；腔體高度 50 mm，可選配 120 mm
產品型號與規格參數
| 參數項目 | VPO-300 | VPO-300-HV |
|---|---|---|
| 最大工件 | 12 吋晶圓或 300 × 300 mm | |
| 真空度 | 1×10⁻³ hPa | 10⁻⁶ hPa |
| 正壓 | 選配，最高 0.2 MPa（2000 hPa） | |
| 腔體 | 鋁腔 350 × 350 mm，含石英底板（可選配不鏽鋼腔） | |
| 腔體高度（mm） | 50（選配 120） | |
| 最高溫度 | 1000°C（選配 1200°C） | |
| 溫度均勻性 | ≤ 設定溫度的 1%（200 mm 晶圓；例：300°C 時 ±3 K） | |
| 加熱方式 | 上下各一組交叉排列紅外線燈管（各 18 kW），3 區可程式 | |
| 最大升溫速率 | 40 K/s | |
| 降溫速率 | 1000→400°C：200 K/min；400→100°C：30 K/min | |
| 製程氣體管路 | 氮氣 MFC 5 nlm ×1，最多 4 路 | |
| 控制器 | SIMATIC® 7 吋觸控面板；50 組程式 × 50 段；資料記錄、遠端控制 | |
| 冷卻 | 腔體外接冷卻水；工件以氮氣冷卻 | |
| 外形尺寸（寬 × 深 × 高）（mm） | 540 × 690 × 890 | |
| 重量（kg） | 140 | |
| 電源 | 2 × 400／230 V，18 kW | |
標示底色的列為各型號的差異；其餘各型號相同，合併為一格。
石墨承載盤、晶圓頂升銷、石英頂板、序列介面、上蓋遠端開闔（不適用 -HV）、純氫用安全罩（Hood L）與落地機櫃等選配，請洽友創工業。
完整規格與外觀尺寸圖請參閱 Unitemp 原廠 VPO 系列頁面與規格書。
典型應用場景
12 吋晶圓快速熱處理
RTP、RTA、RTO、RTN 製程與佈植後的接觸退火、摻質活化，適合 300 mm 產線的研發與生產。
熱氧化與金屬回流
熱氧化、金屬回流與化學氣相沉積相關製程；可選配正壓到 0.2 MPa，擴大製程條件。
合金化與太陽能電池
SiAu、SiAl、SiMo 合金化，Low-k 材料、結晶與緻密化，以及以矽晶圓接合製作玻璃基板太陽能電池；一次可放四片 156 mm 電池片。
常見問題
VPO-300 和 RTP 系列有什麼不同？
VPO-300 可處理 300 mm（12 吋）晶圓或 300 × 300 mm 基板，上下各 18 kW 紅外線燈管、3 區可程式，並可選配正壓到 0.2 MPa；RTP 系列最大到 200 mm 晶圓，但小尺寸機型的升溫更快（最高 200 K/s）。12 吋晶圓、大面積基板或要量產，選 VPO-300；200 mm 以下的研發與極快升溫，選 RTP。
VPO-300 和 VPO-300-HV 的差別？
差在真空度：VPO-300 為 1×10⁻³ hPa，VPO-300-HV 可達 10⁻⁶ hPa。其餘加熱、溫度、氣體與控制規格相同。上蓋遠端開闔與基本真空（VAC I）選配不適用 -HV 版。
可以使用純氫氣嗎？
可以。VPO 系列可使用惰性氣體、氧氣、氫氣與合成氣；使用 100% 氫氣時，原廠提供安全罩選配（Hood L），氫氣感測器、氣體箱與燃燒裝置需另外配置。友創工業可協助評估廠內的安全配置。