Unitemp 桌上型真空迴焊系統 RSS 系列
德國 Unitemp RSS 系列桌上型真空迴焊系統,用於免助焊劑、低空洞焊接。加熱面積 110 × 110 mm 到 310 × 310 mm 共四款,最高 400°C(可選配 500°C),升溫最高 180 K/min,真空可達 1×10⁻³ hPa;標準一路氮氣 MFC,RSS-160-SC 以上標準內建甲酸模組,SIMATIC® 控制器與 7 吋觸控面板可存 50 組程式。
原廠:Unitemp|類別:真空迴焊爐|可選型號:RSS-110-S、RSS-160-SC、RSS-210-SC、RSS-310-SC
實驗室與無塵室用的桌上型真空迴焊系統
德國 Unitemp RSS 系列是放在桌上就能用的小型真空迴焊系統,專為免助焊劑焊接而設計。焊料熔融時抽真空,把焊點內的氣泡排出;搭配甲酸(蟻酸)還原氣氛去除金屬表面氧化膜,不用助焊劑也能焊接,焊後免清洗,適合研發實驗室、無塵室與小量試產。
依加熱面積分為 RSS-110-S、RSS-160-SC、RSS-210-SC 與 RSS-310-SC 四款,最大可處理 310 × 310 mm 的基板。加熱板為鋁製,依機型以加熱棒或紅外線燈管加熱;腔體水冷,升溫最高 180 K/min、降溫最高 180 K/min(依機型)。最高溫度 400°C,可選配延伸至 500°C。
標準配備一路氮氣質量流量控制器(MFC,5 nlm),RSS-160-SC 以上機種標準內建甲酸模組與連鎖保護,可再加一路 MFC,並可使用氧氣、氫氣、合成氣(Forming gas)等製程氣體(依機型)。真空度可達 1×10⁻³ hPa。
操作採 SIMATIC® 控制器與 7 吋觸控面板,可存 50 組程式、每組 50 段,製程資料可經 USB 或 Ethernet 匯出。腔蓋附觀察窗,可選配 USB 攝影機記錄焊接過程。
產品型號與規格參數
| 參數項目 | RSS-110-S | RSS-160-SC | RSS-210-SC | RSS-310-SC |
|---|---|---|---|---|
| 加熱面積(mm) | 110 × 110 | 160 × 160 | 210 × 210 | 310 × 310 |
| 腔體高度(mm) | 40(選配 80) | 70 | 70 | 70 |
| 最高溫度 | 400°C(選配 500°C) | 400°C(500°C 洽詢) | 400°C(500°C 洽詢) | 400°C(500°C 洽詢) |
| 最大升溫速率(K/min) | 120 | 100 | 180 | 120 |
| 最大降溫速率(K/min) | 180 | 120 | 120 | 90 |
| 真空度 | 選配 3 hPa(VAC I)或 1×10⁻³ hPa(VAC II) | 標準 3 hPa(VAC I);選配 1×10⁻³ hPa(VAC II) | 標準 3 hPa(VAC I);選配 1×10⁻³ hPa(VAC II) | 標準 3 hPa(VAC I);選配 1×10⁻³ hPa(VAC II) |
| 加熱與冷卻 | 鋁製加熱板,以加熱棒或紅外線燈管加熱(依機型);水冷 | |||
| 製程氣體管路 | 氮氣 MFC 5 nlm ×1 | 氮氣 MFC 5 nlm ×1;可再加 1 路 MFC | 氮氣 MFC 5 nlm ×1;可再加 1 路 MFC | 氮氣 MFC 5 nlm ×1;可再加 1 路 MFC |
| 甲酸模組 | 選配(FA I/FA II,洽詢) | 標準(FA III,共用氣體管路,含連鎖) | 標準(FA III,共用氣體管路,含連鎖) | 標準(FA III,共用氣體管路,含連鎖) |
| 可用製程氣體 | 氮氣等惰性氣體、氧氣、氫氣、合成氣、甲酸(依機型) | |||
| 控制器 | SIMATIC® 7 吋觸控面板;50 組程式 × 50 段 | |||
| 資料介面 | USB、Ethernet | |||
| 腔蓋 | 60 mm 觀察窗;可選配 USB 攝影機 | |||
| 外形尺寸(寬 × 深 × 高)(mm) | 274 × 517 × 215 | 390 × 530 × 280 | 390 × 570 × 280 | 465 × 670 × 280 |
| 重量(kg) | 14 | 25 | 27 | 46 |
| 電源 | 230 V,1.6 kW(115 V,1.2 kW) | 230 V,2.4 kW(115 V,1.2 kW) | 230 V,9 kW(115 V,7 kW) | 230 V 三相,18 kW |
| 冷卻水 | 需外接冷卻水循環機 | 需外接冷卻水循環機(WC-I) | 需外接冷卻水循環機(WC-II) | 需外接冷卻水循環機(WC-II) |
標示底色的列為各型號的差異;其餘各型號相同,合併為一格。
真空幫浦、冷卻水循環機、甲酸捕集器、氧氣分析儀、熱電偶與側面觀察窗等選配與配件,請洽友創工業確認組合。
完整規格與外觀尺寸圖請參閱 Unitemp 原廠 RSS 系列頁面與規格書。
典型應用場景
免助焊劑、低空洞焊接
焊料熔融時抽真空排出氣泡,搭配甲酸還原氣氛去除氧化膜,不用助焊劑也能焊接,焊後免清洗,適合功率元件、IC 與 BGA 的焊接與品質驗證。
覆晶、凸塊與封裝封合
覆晶(Flip-chip)製程、錫球凸塊回焊、PGA 晶片焊接、元件封裝封合與黏著劑固化,以及半導體晶圓的熱處理。
實驗室製程開發與打樣
桌上型機身可放在實驗室或無塵室,50 組程式與 USB/Ethernet 資料記錄,方便比較溫度曲線與氣氛條件,做新製程開發與原型試作。
常見問題
RSS 系列四款要怎麼選?
主要看基板大小:RSS-110-S 加熱面積 110 × 110 mm、腔體高 40 mm(可選配 80 mm),機身最小、只有 14 kg;RSS-160-SC、RSS-210-SC、RSS-310-SC 的加熱面積分別是 160、210、310 mm 見方,腔體高 70 mm,並標準內建甲酸模組與連鎖保護。升溫最快的是 RSS-210-SC(180 K/min)。RSS-310-SC 需要三相 230 V 電源,其他機型為單相。
真空迴焊和一般氮氣迴焊有什麼不同?
一般迴焊時,錫膏中的助焊劑與揮發物會在焊點內留下氣泡(空洞),影響導熱與可靠度。真空迴焊在焊料熔融時抽真空,把氣泡從焊點中排出;RSS 系列真空可達 1×10⁻³ hPa,再搭配甲酸還原氧化膜,不用助焊劑也能焊接,焊後免清洗,特別適合要求低空洞率的功率元件與晶片焊接。
使用甲酸需要哪些配件?
RSS-160-SC 以上標準配備 FA III 甲酸模組(與氮氣共用管路,含連鎖);RSS-110-S 可洽詢 FA I/FA II。使用甲酸時,原廠建議搭配耐化學腐蝕的真空幫浦,並在幫浦前加裝甲酸捕集器(可選單組或雙組)。友創工業可依您的製程協助確認配置。
需要另外準備冷卻水嗎?
需要。RSS 系列的加熱板與腔體以水冷降溫,必須外接冷卻水;原廠建議使用封閉式循環的冷卻水機,RSS-160-SC 搭配 WC-I,RSS-210-SC 與 RSS-310-SC 搭配 WC-II。真空幫浦與冷卻水機也可加購控制開關盒,由設備連動啟停。
其他真空熱製程型號
- Unitemp 真空焊接系統 VSS 系列 — 德國 Unitemp VSS 系列真空焊接系統,VSS-300 可處理 300 × 300 mm 基板或 300 mm 晶圓,VSS-620 可處理 620 × 620 mm 大尺寸基板。底部紅外線加熱、3 區可程式,最高 450°C(可選配 600°C);真空 10⁻³ hPa,-HV 版達 10⁻⁶ hPa;腔體與燈管氣密隔離,可使用惰性氣體、氧氣、合成氣與甲酸,最多 4 路 MFC。
- Unitemp 真空迴焊爐 VSS-300 甲酸特仕版 — 友創工業以德國 Unitemp VSS-300 為基礎、針對甲酸(蟻酸)還原焊接預先配好的版本:FA II 甲酸模組(獨立控制氣路)+FA IV 自動補充、耐化學真空泵與等靜壓石墨加熱板。基板最大 300 × 300 mm,最高 450°C(可選配 600°C),升溫 150 K/min,真空 10⁻³ hPa。
- Unitemp 紅外線真空迴焊爐 RSO 系列 — 德國 Unitemp RSO 系列紅外線真空迴焊爐,底部紅外線燈管加熱,最高 650°C、升溫最高 10 K/s,溫度均勻性在設定溫度的 1% 以內。RSO-210 可處理 210 × 210 mm 基板或 8 吋晶圓,RSO-300 可處理 300 × 300 × 40 mm;真空 1×10⁻³ hPa,高真空版達 10⁻⁶ hPa 等級,最多 4 路 MFC,支援甲酸還原免助焊劑焊接。
- Unitemp 高真空封裝爐 2Z-HVS 系列 — 德國 Unitemp 2Z-HVS 高真空封裝爐,用於 MEMS 元件的氣密封裝與吸氣劑(Getter)活化。真空度 10⁻⁶ hPa(含幫浦),同一腔體內有上下兩個加熱區(上 200°C、下 450°C),升降溫 20 K/min,一次可封裝 6 個元件;2Z-HVS-100 適用直徑 16 mm、2Z-HVS-200 適用直徑 42 mm。
各型號的行程、夾持力與控制介面對照,以及選型說明與常見問題,整理於真空熱製程選型指南。
Unitemp 的其他產品
- Unitemp 半自動打線機 WB-300-U — 德國 Unitemp WB-300-U 桌上型半自動打線機,三軸馬達驅動、滑鼠操控,定位精度 1.0 µm;換工具即可做楔形、球形、凸塊與安全球打線,使用 17~50 µm 金線或鋁線。深腔打線頭臂長 165 mm,62 kHz 超音波(0~2 W),附 60 mm/250°C 加熱台、馬達線軸與 EFO,SIMATIC® 7 吋觸控面板。
- Unitemp 快速熱處理爐 RTP 系列 — 德國 Unitemp RTP 系列快速熱處理(RTP/RTA)爐,上下紅外線燈管加熱,晶圓最大 100/150/200 mm,最高 1000°C(依機型可選配 1200°C 或 1500°C),單片晶圓升溫最高 150 K/s(選配 200 K/s),真空 1×10⁻³ hPa(-HV 版 10⁻⁶ hPa 等級),最多 4 路 MFC,用於快速退火、氧化、氮化與合金化。
- Unitemp 真空製程爐 VPO-300/VPO-300-HV — 德國 Unitemp VPO-300 真空製程爐,可處理單片 300 mm(12 吋)晶圓或 300 × 300 mm 基板。上下各 18 kW 交叉排列紅外線燈管、3 區可程式加熱,最高 1000°C(可選配 1200°C),升溫 40 K/s;VPO-300 真空 1×10⁻³ hPa,VPO-300-HV 達 10⁻⁶ hPa,並可選配正壓 0.2 MPa,最多 4 路 MFC。




